解放日报头版头条：在纳米级精进，为“中国芯”打通链路｜媒体看奉贤

在这座微观立体结构里，金属导线越精细，同一颗芯片上能放的晶体管就越多，芯片性能就越强大。以3纳米芯片为例，它要求金属导线的粗细做到3纳米，相当于人类一根头发丝的万分之一。

业内把制作这类导线用的金属材料称作靶材。导线越精细，对靶材纯度的要求越高，通常需达到99.999%或更高。

过去很多年里，全球半导体靶材制备技术高度集中于国外少数几家企业。但这两年，一家来自上海奉贤的民营企业，凭借十多年自主研发，突破海外技术垄断，超高纯金属靶材产值迅速占据全球市场份额近两成，使国产半导体参与国际博弈的底气大增。

这样一家细分赛道的“隐形冠军”，是如何炼成的？

握住关键技术“主动权”

走进位于奉贤工业开发区内的同创普润（上海）机电高科技有限公司展厅，满墙的技术专利证书映入眼帘，一块块由高纯度金属锭制成的靶材整齐排列，锅盖大小的铝、铜、锰、钽，彼此色泽不一，每块的纯度都达到了5N（即99.999%，一个N代表一个9）及以上，视觉上质地均匀，光可鉴人。

“锅盖”们虽样貌普通，却是集成电路制作过程中必不可少的材料——在一定的真空环境下，利用荷能粒子轰击靶材表面，粒子和靶材原子会发生动能交换，使靶材表面溅射出粒子并沉积在基底表面形成金属薄膜（如铝、铜等）。

这层薄膜构成了芯片内部晶体管、电容、电感等元件之间的电路连接，其性能与靶材的纯度息息相关。杂质含量高的靶材会使溅射过程不稳定，最终导致集成电路存在区域性性能差异，甚至造成短路或断路。

放在5年前，国内几乎没有任何一家工厂能够量产如此高纯度的金属材料。制造集成电路用靶材的企业，金属原材料必须从海外进口，不仅每个月限定配额，还需通过海外企业中转购买。繁琐的供应链背后，是随时可能断供的潜在风险。

同创普润创立的初心，就是要扭转这种受制于人的局面，把核心技术牢牢握在自己手里。据企业总监张国荣介绍，2012年，国内著名电子材料专家姚力军在奉贤创建了同创普润，专注于芯片制造用超高纯铝、钽、铜、锰等金属材料的研发与生产。它从一家小型初创企业做起，在13年间逐步建立了纯度达到6N（99.9999%）的超高纯金属材料现代化生产线，从核心技术到产业设备，全部实现自研可控。在集成电路国产化的产业链版图上，打通了一条关键链路。

在半导体产业链中，高纯金属材料堪称最隐秘的垂直战场之一。据行业专家介绍，制造一颗芯片，涉及50多个行业、几千道工序。靶材制备技术深藏于产业链上游，直接牵动整个系统的运转精度，关键到足以扼住万亿美元级半导体产业的咽喉。

“从纯度4N到6N，每提升一个数量级都意味着一场艰难的技术攻坚战。”张国荣说，“但在纳米级战场上，万分之一杂质的消除，就是供应链百分之百安全的基石。”

在技术封锁中找到转机

技术壁垒高、研发周期长、下游验证周期长，这是半导体产业发展的共性挑战，也是同创普润的必经之路。“企业初创的前几年，几乎毫无产出。”

张国荣举例，有些产品的研发需要两年，实验室表现十分稳定，但在下游长达数月甚至一两年的验证过程中，下游厂商会对产品提出不同的需求，这就需要反复测试调整。以纯度达到6N的铜和锰为例，他们几乎花了10年的时间才实现技术突破。提炼钽的矿石资源全球稀缺，售价高昂，主流购买渠道还被海外国家垄断，让技术突破更加曲折。 

听起来或许难以置信，但对同创普润而言，转机出现在美国首次对中国的半导体产业展开技术封锁之后。

新材料的验证成本高，因此一些下游企业对合作持谨慎态度。2019年，美国首轮制裁令下达后，全球半导体供应链剧烈震荡，国内厂商被迫启动国产化替代进程。同创普润的超高纯金属材料借此站到台前，凭借毫不逊色的性能和更具性价比的优势，迅速打开了市场。

据张国荣介绍，如今，由同创普润制成的金属靶材，已占据全球超高纯金属靶材出货量的40%。从90纳米到3纳米制程的国产芯片，同创普润的材料更是占主要份额。

2023年，同创普润成为世界第二家实现超高纯锰量产的企业。眼下，企业正加速超高纯铜锰合金制备技术的突破，剑指更尖端的芯片制程需求。

营商环境足够包容耐心

在企业看来，13年来一步步发展为行业龙头，离不开当地营商环境的托举。

“同创普润这几年增长很快，但在最初几年，产值和税收一直没有起来。”张国荣说，企业曾一度因此觉得“抬不起头”，但奉贤当地政府和产业园区相关部门始终给予足够的包容和耐心，在产业政策支持、项目扩建、高层次人才引进和子女就学等多方面，提供高效便捷的服务。

比如，在企业布局最初，高纯度靶材原材料行业仍是新兴领域。生产线建设后，同创普润曾一度被划入国民经济行业分类中的有色冶炼类别。事实上，高纯金属在冶炼工艺和技术上完全不同于有色冶炼，相应的管理标准也存在差异。

在企业向奉贤相关部门表达了困惑后，奉贤区迅速组织了行业专家和教授来到现场评估指导，最终将同创普润的行业类别认定为电子专用材料制造，为企业未来可持续发展提供了保障。

“当得知我们高管的子女来沪就学碰到困难时，园区方也帮我们积极协调，迅速联系到了合适的学校入学。”张国荣说，“这样的案例还有很多，正因为有了当地政府这个‘坚实的后盾’，我们才能更专注于产品研发、生产和销售，实现快速发展。”

对此，奉贤区科技发展促进中心主任蔡澄同样深有感触：“企业十年磨一剑，其间艰难险阻非同寻常。作为属地政府，归根到底是要始终秉持‘无事不扰、有求必应’的服务理念。在企业专注研发的静默期，当好‘守夜人’让创新不受干扰；当企业遇到政策堵点、要素卡点时，化身‘店小二’第一时间破解难题。”

或许正是这种“陪伴式”服务带来的心有灵犀，为科创企业构筑了稳固的后方阵地，也使其愿意与政府一同尝试，布局更广阔的产业版图。张国荣表示，未来，同创普润计划探索与奉贤区政府深化合作，吸引半导体行业在奉贤的集聚壮大，为构建自主可控的半导体产业链创新生态提供关键支撑。